Учебная работа. Реферат: Ионно-сорбционная откачка
Учебная работа. Реферат: Ионно-сорбционная откачка Ионно-сорбционная откачка . При ионно-сорбционной откачке используют два способа поглощения газа : внедрение ионов в объем твердого тела под действием электрического поля и химическое взаимодействие откачиваемых газов с тонкими пленками активных металлов . Высокоэнергетические ионы или нейтральные частицы , бомбардируя твердое тело , проникают в него на глубину , достаточную …